Моделирование перемешивания пленок при облучении мощным ионным пучком (МИП)
Le X.Y., Yan S., Zhao W.J., Wang Y.G., Xue J.M.
Литературный перевод. A calculation on the Metal-Film Mixing by Intense Pulse Ion Beam (IPIB) Journal of the Korean Vacuum Science & Technology; JKVST Vol.0, No.0, 2003, pp.00~00
В данной статье проводится математическое моделирование систем металлическая пленка – металлическая подложка при облучении их МИП с энергией ионов 250 кэВ, плотностью тока 10-250 А/см2 . При облучении МИП возникает эффект - перемешивания. В этом случае металлическая пленка и часть металлической подложки плавятся и перемешиваются. Состояние перемешивания сохраняется в жидкой фазе и в течении охлаждения с большими скоростями. Наша работа представляет собой моделирование процессов нагрева и охлаждения с применением программы STEIPIB для отыскания оптимальных параметров для наилучшего перемешивания специфичной системы пленка-подложка (500нм титана осаждено на алюминий). Параметры рассчитанные для системы Ti-Al показали хорошее согласование с экспериментом.
В данной статье проводится математическое моделирование систем металлическая пленка – металлическая подложка при облучении их МИП с энергией ионов 250 кэВ, плотностью тока 10-250 А/см2 . При облучении МИП возникает эффект - перемешивания. В этом случае металлическая пленка и часть металлической подложки плавятся и перемешиваются. Состояние перемешивания сохраняется в жидкой фазе и в течении охлаждения с большими скоростями. Наша работа представляет собой моделирование процессов нагрева и охлаждения с применением программы STEIPIB для отыскания оптимальных параметров для наилучшего перемешивания специфичной системы пленка-подложка (500нм титана осаждено на алюминий). Параметры рассчитанные для системы Ti-Al показали хорошее согласование с экспериментом.
Мова:
russian
Файл:
DOC, 3.84 MB
IPFS:
,
russian0